Analizator infracrvene spektroskopije Fourierove transformacije (FTIR) koristi se u industriji proizvodnje poluvodiča. FTIR je instrument spektralne analize koji koristi infracrvenu spektroskopiju za analizu koncentracije nečistoća pomoću Fourierove transformacije. Spektrometar se uglavnom sastoji od izvora svjetlosti (silicijeva karbonska šipka, visokotlačna živina lampa), Michelsonovog interferometra, detektora i interferometra
Infracrvena svjetlost koju emitira infracrveni izvor svjetlosti S kolimira se u paralelnu infracrvenu zraku i ulazi u interferencijski sustav. Nakon podešavanja interferometrom dobiva se snop interferentne svjetlosti. Svjetlo interferencije prolazi kroz uzorak Sa kako bi se dobio signal interferencije koji sadrži spektralne informacije, koji dolazi do detektora D i zatim ga D pretvara u električni signal. Signal interferencije ovdje je vremenska funkcija, što je uzorak interferencije nacrtan signalom interferencije , a njegova horizontalna os je vrijeme kretanja ili udaljenost pokretnog zrcala. Ovaj uzorak interferencije šalje se računalu preko A/D pretvarača, a računalo izvodi brze izračune Fourierove transformacije kako bi se dobio infracrveni spektar s valnim brojem kao vodoravnom osi. Zatim se šalje na crtač kroz D/A pretvarač da nacrta vrlo poznati standardni infracrveni apsorpcijski spektar.
